חדר נקי
בתעשייה, חדר נקי (תרגום מילולי ופשוט מאנגלית של: "Clean Room" - קְלִין רוּם) הוא אזור במפעל שבו נשמרת רמת ניקיון גבוהה ביותר (גבוהה מזו שבחדר ניתוח). רמת הניקיון נמדדת ביחידות של מספר חלקיקים למטר מעוקב.
רמת ניקיון גבוהה זו נדרשת בייצורם של מוצרים מסוימים, ובפרט שבבים אלקטרוניים, שאפילו גרגר אבק עלול לשבש את ייצורם. בחדר נקי קיימות מערכות בקרת אקלים מורכבות שמסננות את האוויר, מורידות את רמת הלחות ועוד.
העובדים בחדר הנקי לובשים חליפות מיוחדות העשויות מחומרים שאינם פולטים חלקיקים ומצוידות במערכת נשימה, המונעות את זיהומו של החדר בחלקיקים. קירות החדר עשויים מחומרים שאינם פולטים חלקיקים. הניקיון בחדרים מתבצע כחלק מהעבודה השוטפת בחדר ועם חומרי ניקוי מיוחדים.
שימושים
בתעשיות השונות קיימים חדרים שונים.
בתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה ישנה הקפדה גבוהה על מספר החלקיקים ועל רמת לחות שתהיה מדויקת סדר גודל של 45%±3% על מנת למנוע היווצרות חשמל סטטי שיכול להרוס את המכשירים והרכיבים המיוצרים. הטמפרטורה בחדר צריכה להיות 20°C±0.2°C.
בתעשיית התרופות ישנה הקפדה גבוהה על רמת הניקיון וכמו כן על מניעת מושבות של חיידקים ולכן מקפידים על משטחים חלקים לחלוטין, ללא חריצים וחורים, על ידי שימוש בסיליקון אנטי-בקטריאלי.
בתעשיית הזכוכית (זכוכית שכבות לדוגמה), קיימים חדרים נקיים לשיפור התהליך, ובהם נשמרת רמת לחות נמוכה (19%) וטמפרטורה נמוכה (20°C~), על מנת לשמור על תהליך ההדבקות של זכוכית השכבות באמצעות החומר P.V.B.
בישראל יש חדרים נקיים במפעלי היי טק אחדים, כגון מפעלי הייצור של החברות אינטל, אפלייד מטיריאלס, אורבוטק, טאוור סמיקונדקטורס, במפעלי התרופות של טבע, במפעלי התעשייה האווירית שעוסקים בתחום החלל מב"ת, אלתא ומל"מ וכן במכון ויצמן למדע, בטכניון באוניברסיטת תל אביב, ובמרכז BINA שבאוניברסיטת בר-אילן.
עקרונות זרימת אוויר בחדר נקי
תקן לחדרים נקיים ISO 14644-1
חלקיקים מותרים/מטר מעוקב | ||||||
Class | 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1 µm | 5 µm |
ISO 1 | 10 | 2 | ||||
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
תקן זה נקבע על פי מספר החלקיקים בגודל 0.1 µ המותרים בנפח של m3 (הגדרת התקן היא על פי המעריך של 10 במספר החלקיקים המותר - לדוגמה: ISO 1==>101)[1]
תקן אמריקני פֶדֶרָלִי 209E - תקנים לחדרים נקיים
US FED STD 209E cleanroom standards
particle/ft³ | ||||||
Class | 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1 µm | 5 µm |
1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ||
10 | 350 | 75 | 30 | 10 | 1 | |
100 | 3500 | 750 | 300 | 100 | 10 | 1 |
1,000 | 1,000 | 100 | 10 | |||
10,000 | 10,000 | 1,000 | 100 | |||
100,000 | 100,000 | 10,000 | 1,000 |
תקן זה נקבע על פי מספר החלקיקים בגודל 0.5 µ המותרים בנפח של ft3
הערה: התקן הנ"ל (US FED STD 209E) בוטל ב-29 בנובמבר 2001.
טבלת השוואת תקנים
ISO 14644-1 | FED STD 209E |
ISO 3 | 1 |
ISO 4 | 10 |
ISO 5 | 100 |
ISO 6 | 1,000 |
ISO 7 | 10,000 |
ISO 8 | 100,000 |
ראו גם
קישורים חיצוניים
- אתר IEST
- אתר GSFCC (אורכב 01.06.2020 בארכיון Wayback Machine), GLOBAL SOCIETY FOR CONTAMINATION CONTROL
- חדר נקי, באתר אנציקלופדיה בריטניקה (באנגלית)
הערות שוליים
- ^ Martin, Clean Room Classification
חדר נקי32663005Q794827